等離子處理機(jī)，精密干式清洗

時(shí)間：2023-06-24作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：565

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子處理設(shè)備的活化作用

  許多材料由于表面能量過低，很難進(jìn)行粘合、噴涂、印刷、焊接等處理?；瘜W(xué)底漆、液態(tài)粘合劑、火焰處理以及等離子處理都是能提高表面能量的活化方法，其中化學(xué)底漆和液態(tài)粘合劑往往具有高腐蝕性和環(huán)境危害性，火焰處理不穩(wěn)定，危險(xiǎn)系數(shù)高，只有等離子清洗機(jī)的處理無損、無污染，工藝穩(wěn)定安全。等離子清洗機(jī)表面活化，待粘接表面出現(xiàn)粘合不牢固，無法粘合的情況，在應(yīng)用粘合劑之前使用等離子體表面處理預(yù)處理非級(jí)性材料來實(shí)現(xiàn)等離子清

• 等離子清洗機(jī)之表面活化改性功能

  等離子清洗機(jī)在表面工程應(yīng)用，包括表面清洗、表面活化、表面滅菌、表面能蝕變、提高表面潤濕性能、粘接和粘附的表面制備、表面化學(xué)改性以及表面處理。通過活化、接枝和表面包覆對(duì)聚合物和生物材料進(jìn)行表面刻蝕、表面活化處理。工業(yè)生產(chǎn)中的清洗概念很廣，包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝，在不破壞材料表面特性的前提下，有效地清除殘留在材料上的微塵，有機(jī)雜物及金屬離子。傳統(tǒng)的清洗方法不能完全將材料表面薄膜去除，而會(huì)留下一

• 半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域等離子清洗機(jī)的應(yīng)用

  等離子體清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)、手機(jī)制造業(yè)、汽車制造、紡織、生物醫(yī)學(xué)、新能源及航天航空等行業(yè)。如電子器件的涂覆處理、PC塑框粘接前處理、機(jī)殼、按鍵鈕等結(jié)件表面噴油絲??；PCB表面除膠除污清潔，鏡片粘前處理；電線，電纜噴碼前處理；等離子清洗機(jī)在引線鍵合、去除表面沾污等半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的應(yīng)用:聚合物剝離,金屬剝離,掩膜材料去除,高劑量離子注入后光刻膠去除,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦生產(chǎn)線光刻膠去除

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會(huì)涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清