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詞條說明
plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備的原理及應(yīng)用
1何謂plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備 ? plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備外接一臺(tái)真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗程度達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中的應(yīng)用:等離子體清洗機(jī)具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及有機(jī)溶劑等等離子清洗
等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)是利用等離子體實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達(dá)到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也稱為物質(zhì)的四態(tài),與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量,使其離化,即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括:離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進(jìn)行處理,達(dá)到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后,可在分子水平上去除污染物,從而提高工件表面活性。在微電子技
采用等離子表面處理機(jī)處理技術(shù)對玻璃改性,有設(shè)備簡單,原材料消耗低,成本低,產(chǎn)品附加值高等特點(diǎn),優(yōu)化了玻璃鍍膜、粘合、去膜工藝,低溫等離子體表面處理機(jī)改性材料已廣泛應(yīng)用于電容、電阻式手機(jī)觸摸屏等某些需要精加工的玻璃。玻璃經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后可解決了玻璃粘合困難,印刷,電鍍等難題。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處
公司名: 煙臺(tái)金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機(jī): 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺(tái)招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號(hào)
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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