等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

時(shí)間：2022-04-01作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：234

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)，提升汽車燈具粘接牢固度

  等離子清洗機(jī)表面處理，提升汽車燈具粘接的工藝，使粘接牢固等離子清洗機(jī)主要是利用等離子體中的活性微粒進(jìn)行“活化作用”，從而達(dá)到對(duì)材料表面污染物的去除。采用汽車燈具粘接工藝，粘接牢固、防塵、防潮；等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、

• 等離子清洗機(jī)集成電路去膠

  等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)是利用等離子體實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達(dá)到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的四態(tài)，與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量，使其離化，即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括：離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對(duì)試樣表面進(jìn)行處理，達(dá)到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后，可在分子水平上去除污染物，從而提高工件表面活性。在微電子技

• 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于LCD行業(yè)

  等離子清洗機(jī)在LCD行業(yè)的運(yùn)用在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC（裸芯片IC）的COG工藝中，當(dāng)芯片在高溫下粘結(jié)硬化時(shí)，基板涂層的成分沉淀在粘結(jié)填料的表面。有時(shí)，銀漿和其他連接劑溢出來(lái)污染粘合填料。如果在熱壓結(jié)合工藝前采用等離子清洗機(jī)去除這些污染物，可大大提高熱壓結(jié)合的質(zhì)量。此外，由于提高了裸芯片的基板與IC表面之間的潤(rùn)濕性，LCD-COG模塊的鍵合緊密性也得以提高，并且線路腐蝕問(wèn)題也得以減少。

• 等離子清洗機(jī)對(duì)HDI板孔（微小孔）的處理

  等離子清洗機(jī)清洗微小孔的作用等離子清洗機(jī)對(duì)于PCB線路板的活化處理：高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強(qiáng)，可以深入物體的微細(xì)孔眼和凹陷內(nèi)，特別適合用于線路板生產(chǎn)中盲孔以及微小孔的清洗；整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘內(nèi)即可完成。此處理方法為干法制程，操作簡(jiǎn)便、處理質(zhì)量穩(wěn)定且可靠，適合于批量化生產(chǎn)。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表