晶圓光刻膠等離子清洗機及設備

時間：2020-01-05

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機去除晶圓Wafer光刻膠
等離子清洗機能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗，只能通過等離子清洗機進行去除，晶圓級封裝前等離子清洗機處理的目的是去除表面的無機物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)
等離子清洗機用于晶圓處理
等離子清洗機是適用于晶圓級和3D封裝應用的表面處理設備。等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點、有機污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處
等離子清洗機在半導體領域的應用
等離子清洗機適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等
等離子清洗機改善材料之間的吸附性
等離子清洗機改善材料之間的吸附性，等離子清洗機處理可以改善材料表面黏附性能等離子清洗機改性后的PET材料表面對白蛋白具有先吸附的性質(zhì)，且接枝了PEG6000的PET材料表面對白蛋白的先吸附性強。吸附了白蛋白的生物材料表面可以顯著抑制血小板的聚集和黏附，表現(xiàn)出良好的血液相容性。聚合物纖維作為良好的吸附性材料，具有比表面積大、孔隙率高等特點。在聚合物纖維表面利用低溫等離子體清洗機接枝特定分子后，能夠提