等離子清洗機去除光學元件**污染物

時間：2022-03-30作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：627

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機用于半導體晶圓清洗工藝

  等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝中的應用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品的質量等優(yōu)點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等等離子清洗

• 等離子清洗機去除晶圓Wafer光刻膠

  等離子清洗機能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗，只能通過等離子清洗機進行去除，晶圓級封裝前等離子清洗機處理的目的是去除表面的無機物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產品的可靠性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)

• 半導體封裝領域等離子清洗機的應用

  等離子體清洗機廣泛應用于電子行業(yè)、手機制造業(yè)、汽車制造、紡織、生物醫(yī)學、新能源及航天航空等行業(yè)。如電子器件的涂覆處理、PC塑框粘接前處理、機殼、按鍵鈕等結件表面噴油絲??；PCB表面除膠除污清潔，鏡片粘前處理；電線，電纜噴碼前處理；等離子清洗機在引線鍵合、去除表面沾污等半導體封裝領域的應用:聚合物剝離,金屬剝離,掩膜材料去除,高劑量離子注入后光刻膠去除,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦生產線光刻膠去除

• 等離子清洗機，半導體/LED的解決方案

  等離子清洗機用于半導體/LED的解決方案，處理介電質刻蝕工藝、光刻膠處理/灰化、氧化物去除、有機污染清潔和表面活化。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離