大氣等離子表面處理機設備的優(yōu)勢

時間：2020-01-05

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機用于晶圓處理
等離子清洗機是適用于晶圓級和3D封裝應用的表面處理設備。等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點、有機污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處
等離子處理機對封裝材料的清洗和活化
等離子清洗機用在印刷預處理、粘接預處理、焊接預處理、封裝預處理等等工藝上，等離子清洗機來說主要是就是用來清洗肉眼看不到的污染物，并使得產(chǎn)品表面活化，提高其親水性。在半導體封裝的生產(chǎn)過程中,由于指印、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等,器件和材料表面會形成各種沾污,包括有機物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、焊料、金屬鹽等。這些沾污會明顯地影響封裝生產(chǎn)過程中的相關工藝質(zhì)量。使用等離子體清洗機可以很容易清除掉生產(chǎn)過程
等離子清洗機對晶圓的預處理
等離子清洗機用于晶圓級封裝的預處理，去除表面礦物質(zhì)，減少氧化層，增加銅表面粗糙度，plasma等離子清洗機能通過等離子產(chǎn)生的自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.等離子清洗機的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余有機物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學方法
plasma等離子清洗處理機在機械設備制造應用
機械設備給人的印象往往都是在生產(chǎn)車間，建筑工地等工作場所才會出現(xiàn)，與我們的日常生活似乎沒有什么直接聯(lián)系。商場里面的電梯你乘坐過嗎？住宅小區(qū)除草時發(fā)出的“嗡嗡”響你聽見過嗎？裝修房間用來切割鋁合金等金屬的磨削設備你看見過嗎？仔細想想，其實這些機械設備家族的成員就在我們身邊。問題是它們與等離子表面處理似乎一點不搭界，怎么解釋呢？1 除草機配件粘接、灌封前的等離子表面處理?除草機在工作時會持續(xù)