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詞條說明
等離子清洗機提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理等離子清洗機應(yīng)用于汽車制造涂裝烤漆前預(yù)處理,液晶玻璃表面清洗,電路板印刷,電鍍,除油污代替化學(xué)處理等等眾多領(lǐng)域。等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理
等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
等離子清洗機是適用于晶圓級和3D封裝應(yīng)用的表面處理設(shè)備。等離子清洗機的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點、有機污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處
等離子清洗機的激活鍵能,交聯(lián)作用:等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。等離子清洗機實現(xiàn)對材料表面進行激活、蝕刻、除污等工藝處理,以及對材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進行改良的作用。等離子清洗機Plasma Clean
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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