150 mRad-線寬為衍射極限-邊緣銳利,**過衍射極限后的能量急劇下降-剖面能量強(qiáng)度為平**分布,整條線光斑都是均勻的-波長:覆蓋了DUV到NIR-材料:純?nèi)廴谑?,高損傷閾值涂層,適用于高功率的應(yīng)用作為衍射光學(xué)元件制造領(lǐng)域的世界良好者,Holo/Or公司非常榮幸地推出一種新的大角度線形光束整形器。大角度線形光束整形器應(yīng)用:例如,使用合適的聚焦光學(xué)元件和H" />

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衍射光學(xué)元件-大角度線形光束整形器


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  • 線激光元件被用于晶圓檢測

    在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此,檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時,晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而

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