K&S主動隔振臺在電子顯微鏡領(lǐng)域的應(yīng)用

時間：2023-08-31

作者：深圳維爾克斯光電有限公司

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詞條
詞條說明
線激光元件被用于晶圓檢測
在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此，檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當線沿徑向掃描時，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而
Specim One高光譜成像平臺在2022年Automate被推出
Specim Spectral Imaging Ltd.是全球領(lǐng)先的高光譜成像解決方案供應(yīng)商。Specim成立于1995年，擁有一支由80多名專業(yè)人士組成的國際團隊，他們在光學(xué)、電子、軟件和機器視覺方面擁有專業(yè)知識，為市場提供最廣泛的高光譜相機、成像光譜儀、系統(tǒng)和配件。Specim其產(chǎn)品和支持具有卓越的質(zhì)量和成本效益。從6月6日至9日，在Automate 2022上，Specim將在5249號展位
非球面鏡光束整形與DOE光束整形的原理圖
本文以圖片和視頻的方式介紹光束整形器，非球面光束整形器與衍射光束整形器是如何獲得平頂光的，說明其原理以及應(yīng)用。圓片和視頻來源于住友電工。非球面光束整形器獲得平頂光的原理，是通過中心凹面發(fā)散高斯光束中心較強的能量，四周凸面匯聚高斯光束周邊較弱的能量，從而在工作面獲得均勻的能量分布。非球面鏡光束整形產(chǎn)品主要以德國Asphericon的為主：↑非球面鏡第一步是將單模激光接觸鏡面凸起部分的光束進行聚焦以及
工程散射片的強度均勻照明和目標面均勻照明
根據(jù)操作條件和應(yīng)用要求，RPC Photonics的工程散射片可以將激光光束散射成特定形狀的光斑，具體包括強度均勻照明、工程散射片均勻照明和工程擴散片均勻光斑。在本文中，我們討論了定義光分布的一些典型方法以及兩種常見的照明條件，即角度空間上的強度分布和工作面上輻照度。1.強度Intensity，或者說，輻射強度定義為散射片向給定方向發(fā)射的每單位立體角功率。可以想象探測器沿著以散射片為中心的圓弧移動