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詞條說明
等離子體CMOS工藝中應(yīng)用于集成電路制造中WAT方法研究
WAT(Wafer Accept Test)即硅圓片接收測(cè)試,就是在半導(dǎo)體硅片完成所有的制程工藝后,對(duì)硅圓片上的各種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行電性測(cè)試,它是反映產(chǎn)品質(zhì)量的一種手段,是產(chǎn)品入庫前進(jìn)行的一道質(zhì)量檢驗(yàn)。? ? ? ??伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,等離子體工藝已廣泛應(yīng)用于集成電路制造中,離子注入、干法刻蝕、干法去膠、UV輻射、薄膜淀積等都可能會(huì)引入等離子體損
plasma等離子處理TEOS工藝沉積二氧化硅薄膜的光譜研究
二氧化硅薄膜是一種性能優(yōu)良的介質(zhì)材料,它具有介電性能穩(wěn)定,介質(zhì)損耗小,耐潮性好,溫度系數(shù)好等優(yōu)點(diǎn),具有較其穩(wěn)定的化學(xué)性和電絕緣性。因此,二氧化硅在集成電路工藝中的應(yīng)用很廣泛。? ? ? ? 正是由于二氧化硅薄膜在集成電路工藝中應(yīng)用的廣泛性,所以需要制備具有不同特性的二氧化硅薄膜,這就意味著要不斷研發(fā)出各種新型的薄膜沉積技術(shù)。近年來,常壓plasma等離子處理
生物領(lǐng)域等離子處理機(jī)的應(yīng)用原理分析
生物領(lǐng)域等離子處理機(jī)的應(yīng)用原理分析,即物質(zhì)的*四態(tài),是由部分喪失電子的原子和電離產(chǎn)生的自由電子組成的離子氣體物質(zhì)。這種電離氣體由原子、分子、原子團(tuán)、離子和電子組成。其作用可以實(shí)現(xiàn)物體表面的清潔、活化、蝕刻、精整和等離子處理機(jī)表面涂層。由于低溫等離體對(duì)物體表面的處理強(qiáng)度小于高溫等離子體,可以保護(hù)物體表面。我們?cè)趹?yīng)用中使用的大多是低溫等離子體。而且各種粒子在物體處理過程中所表現(xiàn)出的作用也各不相同。&n
電漿清洗機(jī)清洗有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFET)材料的重要性
**場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFETS)是一種有源裝置,它能夠通過改變柵較電壓來改變半導(dǎo)體層的導(dǎo)電特性,然后操縱通過源漏較的電流。**場(chǎng)效應(yīng)晶體管作為電路中的基本元件,以其低功耗、高阻抗、、可大面積生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn),受到了廣泛的重視,并得到了迅速的發(fā)展。其組成元器件主要由電極、**半導(dǎo)體、隔熱層和基板組成,這些元件對(duì)OFET的性能有很大影響。通過電漿清洗機(jī)對(duì)電極、**半導(dǎo)體、絕緣層和基片進(jìn)行處理,提高了材料的功能
公司名: 深圳子柒科技有限公司
聯(lián)系人: 熊生
電 話:
手 機(jī): 13714491283
微 信: 13714491283
地 址: 廣東深圳寶安區(qū)華宏工業(yè)園A棟
郵 編:
網(wǎng) 址: ziqiplasma.b2b168.com
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