詞條
詞條說(shuō)明
探針臺(tái)精準(zhǔn)控制關(guān)鍵技術(shù)研究
集成電路自動(dòng)化裝備-探針臺(tái)是晶圓測(cè)試領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)。由于晶圓片上晶粒很小,達(dá)到微米級(jí),所以要求探針臺(tái)要保持很高的定位精度和運(yùn)動(dòng)精度才能保證探針與晶粒的準(zhǔn)確對(duì)針和測(cè)試。因此,本文主要研究的問(wèn)題是如何保證探針臺(tái)高精密控制,從而達(dá)到微米級(jí)定位要求。? ? ? ?本文來(lái)自于國(guó)家02專項(xiàng)-面向12”晶圓片的全自動(dòng)探針臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)研究。首先,本文介紹了探針臺(tái)兩大部分-LO
?針對(duì)光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽(yáng)極清洗裝置。主要結(jié)論有:(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計(jì)中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時(shí)避免了靶裝置在預(yù)先清洗時(shí)的污染;設(shè)計(jì)了靶裝置的驅(qū)動(dòng)端,完成了電機(jī)
同軸真空BNC接頭是一種常見(jiàn)的射頻連接器,廣泛應(yīng)用于射頻和微波通信、數(shù)據(jù)處理及測(cè)量設(shè)備。BNC(Bayonet Neill-Concelman)接頭是由美國(guó)的Paul Neill和Carl Concelman于1945年發(fā)明的。以下是同軸真空BNC接頭的一些特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):1. 易于連接和斷開(kāi):BNC接頭采用了快速卡口式結(jié)構(gòu),使得連接和斷開(kāi)變得非常方便。用戶只需將插頭插入座子,然后旋轉(zhuǎn)90度即可完成連
1000度高溫真空探針臺(tái),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、納米技術(shù)、光電子、薄膜技術(shù)等領(lǐng)域,具有以下用途:1. 半導(dǎo)體器件測(cè)試與表征:用于不同溫度下的半導(dǎo)體料件、電子器件和光電子器件的性能測(cè)試和分析。2. 材料性能表征:研究和測(cè)試材料在不同溫度下的電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)等性能,以及材料的穩(wěn)定性和可靠性。3. 納米結(jié)構(gòu)與納米器件研究:在納米尺度上測(cè)量納米結(jié)構(gòu)與納米器件的電學(xué)性能,及其在高溫真空環(huán)境中的穩(wěn)定性和
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
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手 機(jī): 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號(hào)6幢11單元3層73號(hào)
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