詞條
詞條說(shuō)明
探針臺(tái)精準(zhǔn)控制關(guān)鍵技術(shù)研究
集成電路自動(dòng)化裝備-探針臺(tái)是晶圓測(cè)試領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)。由于晶圓片上晶粒很小,達(dá)到微米級(jí),所以要求探針臺(tái)要保持很高的定位精度和運(yùn)動(dòng)精度才能保證探針與晶粒的準(zhǔn)確對(duì)針和測(cè)試。因此,本文主要研究的問(wèn)題是如何保證探針臺(tái)高精密控制,從而達(dá)到微米級(jí)定位要求。? ? ? ?本文來(lái)自于國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)-面向12”晶圓片的全自動(dòng)探針臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)研究。首先,本文介紹了探針臺(tái)兩大部分-LO
1、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),多樣品同時(shí)鍍膜時(shí),鍍膜厚度比較均勻。2、預(yù)濺射擋板功能,剛開(kāi)始鍍膜的時(shí)候腔室里會(huì)有些雜質(zhì),擋板可以保護(hù)樣品,提高薄膜質(zhì)量3、帶有水冷系統(tǒng),可以長(zhǎng)時(shí)間濺射鍍膜,厚度可達(dá)1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個(gè)量級(jí)。針對(duì)某些金屬較快能達(dá)到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測(cè),監(jiān)測(cè)薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要
纖維(Fiber)是由連續(xù)或不連續(xù)的細(xì)絲組成的物質(zhì),可分為**纖維和化學(xué)纖維。這兩大類(lèi)纖維被廣泛應(yīng)用于紡織[1]、環(huán)保[3]、生物醫(yī)療[4]等多個(gè)領(lǐng)域。由于纖維材料的表面物理形態(tài)和化學(xué)結(jié)構(gòu)是決定材料性能的主要因素,通常需要利用相關(guān)的顯微設(shè)備去觀察纖維表面的微觀形貌等信息,從而去判斷纖維材料的基本性能。掃描電子顯微鏡作為一種常規(guī)的微觀表征設(shè)備,其具有放大倍數(shù)大、分辨、景深大、圖像清晰、立體感強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)
Q1: 什么是PVD? 真空電鍍加工真空鍍膜技術(shù)A1: PVD是英文Physical Vapor Deposition的縮寫(xiě),中文意思是“物相沉積”,是指在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)。?? ? 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司新研發(fā)一款小型蒸鍍儀KT-Z1650DM是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
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手 機(jī): 15136134901
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地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號(hào)6幢11單元3層73號(hào)
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