小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

時(shí)間：2021-12-01作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：232

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  晶圓切割貼膜機(jī)STK-7010可手動(dòng)放置與取出晶圓 手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-7010規(guī)格： 晶圓直徑：4”,5”,6”&8”； 晶圓厚度：150～750微米； 晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它材料； 單邊,雙邊，V型缺口； 膜種類：藍(lán)膜或者UV膜； 寬度：210～300毫米； 長(zhǎng)度：100米； 厚度：0.05～0.2毫米； 晶圓承載環(huán)：6”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)； 8”DISCO 或者 K&

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  新型雙臂機(jī)械手臂_4軸圓柱坐標(biāo)型 新型雙臂機(jī)械手臂_4軸圓柱坐標(biāo)型特點(diǎn)： 適用于超級(jí)潔凈間要求的4軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 在保持高性價(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見(jiàn)的丟步問(wèn)題， 適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區(qū)域真空吸附方式的新型雙臂機(jī)械手臂 采用了不會(huì)發(fā)生丟步現(xiàn)象的控制方式來(lái)控制步進(jìn)電機(jī) 高強(qiáng)度手臂/手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機(jī)構(gòu)模塊，晶圓的質(zhì)量） 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座

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  基板膜機(jī)STK-7021帶可控加熱功能（MAX100℃） 半自動(dòng)基板膜機(jī)STK-7021規(guī)格： 基板：客戶提供基板圖紙、樣品； 鐵框尺寸：8”& 12”； 膠膜種類：藍(lán)膜、UV 膜； 寬度：300、400 毫米； 長(zhǎng)度：100 米； 基板臺(tái)盤(pán)：通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺(tái)盤(pán)； 帶可控加熱功能，溫度MAX可達(dá) 100℃； 臺(tái)盤(pán)帶吸真空功能； 裝卸方式：基板手動(dòng)放置與取出； 基板定位：彈簧銷釘定位

• 風(fēng)速測(cè)定模組RCX-W基板上安裝風(fēng)速傳感器，可測(cè)定風(fēng)速曲線

  風(fēng)速測(cè)定模組RCX-W基板上安裝風(fēng)速傳感器，可測(cè)定風(fēng)速曲線 馬康風(fēng)速測(cè)定模組RCX-W ·風(fēng)速測(cè)定模組RCX-W使用時(shí)需要特殊耐熱外殼 ·可以測(cè)定基板上的風(fēng)速曲線 ·基板上安裝風(fēng)速傳感器，可以測(cè)定所關(guān)心地方的風(fēng)速曲線 ·可以在同樣生產(chǎn)加熱狀態(tài)下測(cè)定數(shù)據(jù) ·根據(jù)風(fēng)速傳感器的放置方向可以測(cè)定上下或左右的風(fēng)速 關(guān)于MALCOM：http:///partner/malcom.h