詞條
詞條說(shuō)明
在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中,晶圓芯片表面會(huì)存在各種微粒、金屬離子、有機(jī)物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì),為了避免污染物對(duì)芯處理性能造成致致命影響和缺陷,在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下,半導(dǎo)體晶圓在制造過(guò)程中,需要經(jīng)過(guò)多次的表面清洗步驟,而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機(jī)是晶圓級(jí)和3D封裝應(yīng)用的理想的干式清洗設(shè)備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機(jī)的應(yīng)用:等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠
等離子清洗機(jī)改善材料之間的吸附性,等離子清洗機(jī)處理可以改善材料表面黏附性能等離子清洗機(jī)改性后的PET材料表面對(duì)白蛋白具有先吸附的性質(zhì),且接枝了PEG6000的PET材料表面對(duì)白蛋白的先吸附性強(qiáng)。吸附了白蛋白的生物材料表面可以顯著抑制血小板的聚集和黏附,表現(xiàn)出良好的血液相容性。聚合物纖維作為良好的吸附性材料,具有比表面積大、孔隙率高等特點(diǎn)。在聚合物纖維表面利用低溫等離子體清洗機(jī)接枝特定分子后,能夠提
硅片去除光刻膠,一般都是采用等離子處理機(jī)的干洗清洗方式,以解決光刻膠問(wèn)題。半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)是晶圓加工前的后端封裝工藝,是晶圓扇出、晶圓級(jí)封裝、3D封裝、倒裝片和傳統(tǒng)封裝的理想選擇。圓晶封裝前采用等離子體清洗機(jī)處理的目的是去除表面層中的無(wú)機(jī)物,減少氧化層,增加銅表面層的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備支持直徑75mm至300mm的圓形或方形晶片、基片的自動(dòng)處理。另外,可以根據(jù)晶片的厚
物體表面等離子體清洗機(jī)處理后,常常會(huì)生成許多新的活性基因,使物體表面活化,改變其性能,可提高物體表面的潤(rùn)濕性和附著力,等離子體清洗機(jī)表面處理是一種新型干法,等離子清洗機(jī)既能改變材料的表面結(jié)構(gòu),又能控制界面的性質(zhì),又能實(shí)現(xiàn)表面處理。也可按要求涂覆,等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處
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