等離子處理機，清洗活化改性

時間：2022-04-01作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：241

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• 詞條

  詞條說明

• 晶圓光刻膠等離子清洗機及設(shè)備

  在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，晶圓芯片表面會存在各種微粒、金屬離子、有機物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì)，為了避免污染物對芯處理性能造成致致命影響和缺陷，在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下，半導(dǎo)體晶圓在制造過程中，需要經(jīng)過多次的表面清洗步驟，而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機是晶圓級和3D封裝應(yīng)用的理想的干式清洗設(shè)備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機的應(yīng)用：等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠

• 等離子清洗機提高材料預(yù)處理質(zhì)量

  等離子清洗機提高產(chǎn)品的表面預(yù)處理質(zhì)量：等離子清洗機采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素

• 大氣常壓等離子表面處理機設(shè)備

  大氣常壓等離子表面處理機 常壓等離子表面處理機設(shè)備由等離子發(fā)生器、氣源輸入及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝關(guān)光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時，產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，如油?脂、輔助添加劑等，根據(jù)材料成分，其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變

• 等離子清洗機提高粘接性、表面改質(zhì)處理

  等離子清洗機提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理等離子清洗機應(yīng)用于汽車制造涂裝烤漆前預(yù)處理，液晶玻璃表面清洗，電路板印刷，電鍍，除油污代替化學(xué)處理等等眾多領(lǐng)域。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理