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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
單級旋片式真空泵-適用范圍旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請您仔細(xì)詳閱使用說明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能
【普旭旋片真空泵故障】排除方法(1)如普旭真空泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)、未張緊,皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速,這可調(diào)節(jié)電機位置,使皮帶張到一定緊度。(2)查明何處漏氣,如是連接法蘭處漏氣,則可能是由于連接螺釘松動,墊圈壓破變質(zhì)或者是法蘭面加工
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣法蘭
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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