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詞條說明
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
旋片式真空泵維修方法:1、在進(jìn)行真空泵維修之前,準(zhǔn)備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請用戶**清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以**維修人員的健
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的較高油溫**過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件*老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
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