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詞條說明
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn),并且同時保留了羅茨泵能*的工作,優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺機(jī)械式真空泵,因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)?1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號普通機(jī)械油)到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空
【真空泵廠家】真空系統(tǒng)的機(jī)泵要求是都有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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