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詞條說明
波片的術語和規(guī)格雙折射-波片由雙折射材料制成,最常見的是石英晶體。雙折射材料對于在不同方向上偏振的光具有略微不同的折射率。因此,它們將入射的非偏振光分成平行和正交分量(圖?1)。圖?1:雙折射方解石晶體分離非偏振光快軸和慢軸Fast Axis and Slow Axis-沿快軸偏振的光遇到較低的折射率并且比沿慢軸偏振的光更快地穿過波片??燧S由未安裝波片的快軸直徑上的小平點或圓點
在半導體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此,檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要,這是在半導體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當線沿徑向掃描時,晶圓旋轉,產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而
激光加工表面微細形貌(LST)可以對不同材料的表面進行加工處理,通過改造材料的表面特性以適合所需應用的使用要求(例如增大或減小材料表面的摩擦力,改變材料的疏水性,增加的光散射性能等),具有巨大的發(fā)展?jié)摿?。?jīng)過激光微處理的應用,包括液壓系統(tǒng),密封件,推力軸承,磁存儲設備, MEMS設備,引擎,以及骨骼和牙齒的植入物。經(jīng)過表面改性的產(chǎn)品,可以延長其使用壽命,更易于清潔。激光使用功率的不斷提高,使激光加
入射角(Angle of Incidence,簡稱AOI)是指濾光片相對于入射光的傾斜度,其中最簡單的一種情況就是入射光垂直于濾光片,此時入射角為0°。每當非正常入射光線照射到兩種不同介質(zhì)(如空氣和玻璃)之間的界面時,斯涅耳定律(光的折射規(guī)律的定律,即光入射到不同介質(zhì)的界面上會發(fā)生反射和折射)表明,當光線進入第二種介質(zhì)時,入射光線的角度會發(fā)生變化(圖?2)。變化的程度取決于各自的折射率:
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