等離子清洗機在LCD液晶行業(yè)的應用

時間：2022-04-14

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
大氣等離子表面處理機設備的優(yōu)勢
等離子表面處理機也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，電漿清洗機大氣常壓等離子清洗機，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組
等離子清洗機去除孔壁殘留膠
等離子清洗設備能有效地清除孔壁殘留膠，達到清潔、活化、均勻蝕刻的效果。有利于內線與孔壁鍍銅層的連接，提高粘結力。等離子清洗機通過對材料表面進行改性，可以改善表面親水性，去除表面有機物，從而對多種材料進行適配、涂膜、鍍層等操作。等離子清洗機有著廣泛的社會應用需求，從表面微加工到表面處理的改進。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀
等離子清洗機處理金屬材料
離子清洗機表面處理以改善金屬的粘合力，去除金屬表面上的油、環(huán)氧樹脂和其他污染物，在金屬表面產生氫鍵羥基官能團;等離子清洗機增加金屬表面能和表面潤濕性在使用粘合劑粘合到其他金屬或復合材料之前，清潔并激活鋁、不銹鋼和其他金屬表面等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應用于等離子清
等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業(yè)的應用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走等離子清