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Plasma Cleaner等離子去膠清洗機在LED封裝制造中的應(yīng)用
Plasma Cleaner等離子清洗/去膠機是無任何環(huán)境污染的新型清洗方式,是所有清洗方法中最為的剝離式清洗,最大優(yōu)點在于清洗后無廢液,最大特點是不分處理對象的基材類型均可處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物及粉體或時顆粒狀材料的等離子表面改性處理,包括:等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、聚合、接枝、污染物去除、表面化學(xué)改性、聚合物植、表面涂覆等。為所處理的材料表面帶來超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變,表面
靜電駐處理專為熔噴無紡布濾材提升過濾性能而設(shè)計,俗稱無紡布靜電發(fā)生器,采用特種材料作為放電電,以多通路高壓直流脈沖放電對熔噴無紡布進行聯(lián)合加靜電處理。靜電駐面適合于處理各種高體積電阻和表面電阻、高介電擊穿強度、低吸濕性和各種透氣率水平的空氣過濾材料。經(jīng)處理過的濾材電荷密度大、儲存壽命長且儲存電荷穩(wěn)定性好,兼具低阻、高效、高容塵和高穩(wěn)定性等特征,使濾材具有除塵滅菌多種功能以及對亞微米粒子強的
等離子清洗機去除了碳化氫類污物,如油脂,輔助添加劑等,或產(chǎn)生刻蝕而粗糙,或形成致密的交聯(lián)層,或引入含氧性基團(羥基、羧基),這些基因?qū)Ω黝愅糠蟛牧暇哂写龠M其粘合的作用,在粘合和油漆應(yīng)用時得到了優(yōu)化。在同樣效果下,應(yīng)用等離子體清洗機處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面,有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。不需其他機器、化學(xué)處理等強烈作用成份來增加粘合性等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻
等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
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電 話: 0535 -8236617
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地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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