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等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)
? 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD) PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積)設(shè)備是一種用于在基片上生成高質(zhì)量SiNx和SiO2薄膜的**設(shè)備。淀積溫度范圍寬( 100~600oC可調(diào)),特別適用于半導(dǎo)體器件和集成電路的鈍化,用以提高器件和集成電路可靠性。目前,它已成為微電子和光電子領(lǐng)域科研和生產(chǎn)不可缺少的設(shè)備。 產(chǎn)品特點: 1、膜質(zhì)量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機(jī)(易漏大氣而
?單管氧化爐技術(shù)方案 ? ????????????? (單管程序氧化爐) ? ?????????????&n
空爐(vacuum furnace)是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5
雙工位臥式真空爐 ? 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司 ? 目??錄 ? 一、??????????設(shè) 備 特 點 二、??????????設(shè) 備 結(jié) 構(gòu)
公司名: 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 顏
電 話: 0532-68017157
手 機(jī): 13658669338
微 信: 13658669338
地 址: 山東青島城陽區(qū)青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
郵 編: 266000
網(wǎng) 址: qdfrdwdz.cn.b2b168.com
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