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化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)-小型管式LPCVD設(shè)備
LPECVD是在低壓高溫的條件下,通過化學(xué)反應(yīng)氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜(主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜)??捎糜诳茖W(xué)研究、實(shí)踐教學(xué)、小型器件制造。小型管式LPCVD設(shè)備設(shè)備結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)1、小型化,方便實(shí)驗(yàn)室操作和使用,大幅降低實(shí)驗(yàn)成本兩種基片尺寸2英寸或4英寸;每次裝片1~3片?;胖梅绞剑号渲萌N基片托架,豎直、水平臥式、帶傾角?;螤铑愋停翰灰?guī)則形狀的散片、φ2~4
等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備有哪些特點(diǎn)《臺風(fēng)資訊》
等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備有兩種:其一是PCVD(等離子體一般化學(xué)氣相沉積),另一個是PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積),它們都是在20世紀(jì)70年代發(fā)展起來的鍍膜工藝。其特點(diǎn)是:1、在不同基片上制備各種金屬膜、**物聚合膜、非晶態(tài)無機(jī)物膜;2、等離子體清洗基材,使膜層的附著力增加;3、可制備厚膜,內(nèi)應(yīng)力小、致密性好、針孔小、膜層成分均勻、不易產(chǎn)生微裂紋;4、低溫成膜,溫度對基材沒什么影響,避免了
中國材料大會|鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
會議時間:2024年7月8-11日會議地點(diǎn):廣州白云**會議中心主辦單位:中國材料研究學(xué)會“中國材料大會”是中國材料研究學(xué)會的學(xué)術(shù)年會,是重要的系列品牌會議之一,是中國新材料界學(xué)術(shù)水平較高、涉及領(lǐng)域較廣、*動態(tài)較新的****學(xué)術(shù)大會,是面向國家重大需求、推動新材料*重大突破的高水平品牌大會。為推動經(jīng)濟(jì)社會高質(zhì)量發(fā)展,加快建設(shè)科技強(qiáng)國,實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng),擬于2024年7月8-11日在廣東省廣
鵬城半導(dǎo)體參加2022深圳市坪山區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展商端研討會
2022年5月31日,由廣東省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會主辦的以“科技創(chuàng)芯·智匯坪山”為主題的2022年深圳市坪山區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展**研討會在坪山區(qū)創(chuàng)新廣場東部之芯成功舉辦,本次**研討會有效促進(jìn)產(chǎn)業(yè)科研成果與坪山區(qū)優(yōu)勢資源高效對接,得到了深圳市坪山區(qū)工業(yè)和信息化局的支持。**研討會現(xiàn)場近50位****、院士*及產(chǎn)業(yè)界嘉賓出席了本次**研討會,其中主要**及貴賓有坪山區(qū)一屆政協(xié)**陳主,坪山區(qū)副區(qū)長吳志
公司名: 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
聯(lián)系人: 戴朝蘭
電 話:
手 機(jī): 13632750017
微 信: 13632750017
地 址: 廣東深圳南山區(qū)留仙大道3370號南山智園崇文園區(qū)3號樓304
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供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 小型 PC08 化學(xué)氣相沉積小型LPCVD設(shè)備
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 PC07 化學(xué)氣相沉積LPCVD設(shè)備
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 高真空 PC06 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 金剛石散熱晶圓片 襯底
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 高真空磁控濺射/離子輔助/多弧復(fù)合鍍膜機(jī)
生產(chǎn)型 高真空磁控濺射及離子輔助復(fù)合鍍膜機(jī)
供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
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