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XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒有振動(dòng)一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進(jìn)氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運(yùn)的泵不帶油。安裝后,通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見保養(yǎng)、維修1)到油
【國(guó)產(chǎn)單級(jí)真空泵】普旭真空泵的排除方法
????普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就會(huì)下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)、未張緊,皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速,這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置,使皮帶張到一定緊度。&n
【吸塑機(jī)真空泵】真空泵系統(tǒng)的基本要求是都有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的真空和工作真空度。真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣,如果工作真空度差,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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