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移動式負壓真空站結(jié)構(gòu)原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
單級旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動,可直接排入大氣,偏心質(zhì)量較小,維護簡便,雙級泵的壓力為6×10-2~1×10-2Pa,一種單級泵可達4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。?旋片式真空泵是工業(yè)應用廣泛的一種機型,由于進口真空泵的價格高昂,并且進口真空泵維修及保養(yǎng)費用也貴,廣東大路通引進了一系列**的技術(shù)與設備已生產(chǎn)出費用低,真空泵維修費用低的國產(chǎn)旋片式
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應水平安放。由于泵運轉(zhuǎn)時幾乎沒有振動一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運的泵不帶油。安裝后,通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見保養(yǎng)、維修1)到油
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: ocsmqh.b2b168.com
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