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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應有1米以上,預留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
普旭真空泵運轉中的注意點:?????(1)運轉中必須按照羅茨真空泵的技術規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動機負荷和泵的各部位溫升,在正常運轉情況下,泵的高溫升不得過40℃,高溫度不得過80℃。如果選用水環(huán)泵作為前
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