詞條
詞條說明
旋片式真空泵維修方法:1、在進(jìn)行真空泵維修之前,準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障,先簡(jiǎn)后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以**維修人員的健康。
滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下:1.?先在總成上面安裝過濾器壓力表,壓力表可以實(shí)時(shí)監(jiān)控真空泵的壓力,同時(shí)也可以通過數(shù)據(jù)知道什么時(shí)候應(yīng)該換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標(biāo)簽的環(huán)節(jié),也是一個(gè)小小的說明書以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認(rèn)真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長(zhǎng)高效的壽命。4.?初濾芯安裝
單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時(shí)要檢查您所采購(gòu)的旋片式真空泵在運(yùn)輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請(qǐng)馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請(qǐng)您仔細(xì)詳閱使用說明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進(jìn)氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強(qiáng)泵腔內(nèi)潤(rùn)滑。油位過低對(duì)排氣閥不能
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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