【XD旋片真空泵】真空泵拆裝步驟

時(shí)間：2021-08-23作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：163

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• 詞條

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  旋片式真空泵維修方法：1、在進(jìn)行真空泵維修之前，準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。2、判斷故障，確診故障。判斷準(zhǔn)，可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障，先簡(jiǎn)后繁，先易后難。無(wú)須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷，減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說(shuō)，拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵，應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗，并告知必要的防護(hù)措施，以**維修人員的健

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  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)