詞條
詞條說(shuō)明
潤(rùn)滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤(rùn)滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤(rùn)滑油,對(duì)于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤(rùn)滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很*氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時(shí),將散熱油管及其它油路管拆卸下來(lái)進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時(shí),必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時(shí)需換油路管。因?yàn)?,?dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會(huì)有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時(shí)處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達(dá)到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時(shí)小心對(duì)待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材質(zhì),質(zhì)
真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護(hù)方法:1、找一個(gè)干凈的托盤(pán),內(nèi)倒入足夠量的干凈水,添加入洗滌劑(不可使用腐蝕性洗滌劑)。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來(lái),用風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)一頭的管孔,不管能不能吹出臟物,此步可間斷性操作。3、頭幾次會(huì)吹出多的臟物,等吹到?jīng)]有多少東西出來(lái)時(shí),將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤(pán)內(nèi)浸泡4-6h。4、在浸泡的過(guò)程中,可適當(dāng)?shù)陌凑斩氯闆r多次拿出用風(fēng)槍對(duì)準(zhǔn)管口吹。5、浸泡完后再次
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