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SEM的二次電子成像分辨率約3nm背散射電子成像分辨率約300nmEDS成分分析的元素范圍Be~U分析深度約1μm檢測下限約1%空間分辨率約1μmSEM+?EDS常規(guī)服務項目:各種固體材料的形貌分析微區(qū)化學成分檢測樣品成分的線分布和面分布分析機械探針式測量方法:探針式輪廓儀測量范圍大,測量精度高,但它是一種點掃描測量,測量費時。機械探針式測量方法是開發(fā)較早、研究充分的一一種表面輪廓測量方
表面所具有的微觀幾何形狀統(tǒng)稱為表面形貌(surface?topography),?其中表面被定義為-?-種材料與其它材料之間的分界面"?(在工程表面的情況下,一種材料是空氣,另-種為固體材料,例如金屬、塑料等)。固體表面是指固體上代表實體和周圍環(huán)境邊界的部分。工程表面形貌代表著工件表面的主要外部特征,是由加工過程中的各種工序產(chǎn)生的。一個制件表面的微觀幾何形貌
表面分析檢測項目:?材料表面(薄膜)基本力學性能(納米壓痕儀)?材料的硬度(顯微硬度計)?薄膜與基體的結(jié)合力(大載荷劃痕儀,納米劃痕儀)?抗摩擦磨損能力(摩擦磨損試驗機,劃痕儀)?表面應力分析(X 射線衍射儀,納米壓痕 model 軟件)?材料物理化學性能:?耐腐蝕性能(鹽霧試驗機)?電化學性能(電化學工作站)&nbs
X射線光譜方法測定覆蓋層厚度是基于一束強烈而狹窄的多色X射線與基體和覆蓋層的相互作用。此相互作用產(chǎn)生離散波長和能量的二次輻射,這些二次輻射具有構(gòu)成覆蓋層和基體元素特征。覆蓋層單位面積質(zhì)量(若密度已知,則為覆蓋層線性厚度)和二次輻射強度之間存在一定的關(guān)系。該關(guān)系首先由已知單位面積質(zhì)量的覆蓋層校正標準塊校正確定。若覆蓋層材料的密度已知,同時又給出實際的密度,則這樣的標準塊就能給出覆蓋層線性厚度。測試設
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