掃描探針顯微鏡多功能組合探針系統(tǒng)研制

時間：2023-10-07作者：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司瀏覽：81

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司專注于真空探針臺,小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

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  詞條說明

• 磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計

  ?針對光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設(shè)計了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。主要結(jié)論有:(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時避免了靶裝置在預(yù)先清洗時的污染;設(shè)計了靶裝置的驅(qū)動端,完成了電機(jī)

• 氣敏測試探針臺具有哪些領(lǐng)域？

  ?微型探針臺尺寸小、重量輕，具備變溫測試及真空測試功能，適用于科研工作，也適用于與其他儀器聯(lián)用，是一款非常有特點的微探針系統(tǒng)。? ? ? 鄭科探真空探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。儀器特點：工作距離短、尺寸小，帶有視窗，可以

• 多功能 可擴(kuò)展 顯微鏡熱臺 拉曼光學(xué)測試臺

  擁有一臺 你在材料測試方面微型真空探針臺? ? ? ?多功能 可擴(kuò)展 顯微鏡熱臺 微型探針臺?? ? ? ?氣敏濕敏探針臺? 拉曼光學(xué)測試臺? 熱電探針臺??? ? ? ? 光電探針臺 非磁性霍爾效應(yīng)探針臺??

• 小型金屬濺射鍍膜機(jī)優(yōu)點

  1、樣品臺旋轉(zhuǎn)，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。2、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì)，擋板可以保護(hù)樣品，提高薄膜質(zhì)量3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達(dá)1微米以上。4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬較快能達(dá)到1-2納米每秒，5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要