氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷技術(shù)

時(shí)間：2023-10-07作者：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司瀏覽：93

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司專注于真空探針臺(tái),小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 快速退火爐系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

  快速退火爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵裝備? ? ?主要用于離子注入后雜質(zhì)的、淺結(jié)制作、生長(zhǎng)高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,開(kāi)展快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)研究,對(duì)國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應(yīng)用**。? ? ? 本文針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝

• 磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

  ?針對(duì)光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽(yáng)極清洗裝置。主要結(jié)論有:(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計(jì)中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時(shí)避免了靶裝置在預(yù)先清洗時(shí)的污染;設(shè)計(jì)了靶裝置的驅(qū)動(dòng)端,完成了電機(jī)

• 高低溫探針臺(tái)-解釋塞貝克系數(shù)測(cè)量原理及系數(shù)

  塞貝克系數(shù)（Seebeck Coefficient）也稱為熱電偶效應(yīng)或Seebeck效應(yīng)，是指兩種不同導(dǎo)體（或半導(dǎo)體）材料在一定溫差下產(chǎn)生熱電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象。塞貝克系數(shù)是研究熱電材料（將熱能轉(zhuǎn)化為電能的材料）非常重要的一個(gè)參數(shù)，它用來(lái)衡量材料在一定溫差下產(chǎn)生的熱電壓。?塞貝克系數(shù)的測(cè)量方法有很多種，其中一種常用的方法是恒流法。準(zhǔn)備一個(gè)熱電偶，它由兩種不同材料的導(dǎo)線組成。然后將熱電偶的其中一個(gè)

• 真空封口機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)及主要問(wèn)題解答

  怎么判斷哪些東西可以封？1，高溫不熔化。2、高溫下不與石英管產(chǎn)生反應(yīng)。3、液體沒(méi)辦法抽真空，液體里又氧氣。對(duì)封管機(jī) 場(chǎng)地的要求？氫氧水焊機(jī)需要通風(fēng)。石英管封口要預(yù)留多長(zhǎng)？要留50mm-70mm（石英管內(nèi)如果是熔點(diǎn)低物品，少70），夾頭伸進(jìn)去要30mm。封管機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：1、 每個(gè)設(shè)備出廠有經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜撿漏測(cè)試確保氣密性?2、 設(shè)備磁流體密封件接觸氣體部分采用陶瓷軸承 高成本帶來(lái)的是耐腐蝕（普