用于半導體加工的超精密XY真空平臺。

時間：2022-10-21

作者：上海銳放自控技術有限公司

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詞條
詞條說明
nanomotion介紹
作為精密超聲波壓電電機的制造商，第三方制造商經(jīng)常會在其系統(tǒng)設計中使用我公司的電機部件。為了支持這些新方案，Nanomotion不僅時常提供關鍵性的設計指南，還會提供與控制集成和平臺性能相關的系統(tǒng)級輸入。然而，市場對我們產(chǎn)品的評價受限于其他部分的性能，這一點無可避免，但并不能代表我公司的技術。不幸的是，一旦第三方制造商在關鍵設計部分、元件選擇或裝配/檢測規(guī)程上出現(xiàn)瑕疵，電機的可靠性會降低。Nanom
用于半導體加工的超精密XY真空平臺。
nanomotion用于半導體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達到1nm。
運動控制器的功能
運動規(guī)劃功能實際上是形成運動的速度和位置的基準量。合適的基準量不但可以改善軌跡的精度，而且其影響作用還可以降低對轉(zhuǎn)動系統(tǒng)以及機械傳遞元件的要求。通用運動控制器通常都提供基于對沖擊、加速度和速度等這些可影響動態(tài)軌跡精度的量值加以限制的運動規(guī)劃方法，用戶可以直接調(diào)用相應的函數(shù)。對于加速度進行限制的運動規(guī)劃產(chǎn)生梯形速度曲線；對于沖擊進行限制的運動規(guī)劃產(chǎn)生S形速度曲線。一般來說，對于數(shù)控機床而言，采用加速
nanomotion行業(yè)應用--靜音旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器和快門
靜音旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器和快門行業(yè)應用旋轉(zhuǎn)和平動快門廣泛應用于手持式和飛行式額定熱成像設備。尤其對于在人體周圍工作的設備（頭戴式、步槍式或手持式），往往提出包含噪聲標準在內(nèi)的新要求。從軍事角度來看，由于這些快門可能在非?？拷鼣橙说牡胤焦ぷ鳎虼嗽肼曇殉蔀橐粋€關鍵問題?；趬弘姷男D(zhuǎn)和平動快門可以進行非均勻性校正，能夠在靜音操作的同時，在SWaP（尺寸、重量和功率）優(yōu)化方面也表現(xiàn)突出。一個典型的雙位雙穩(wěn)態(tài)電磁