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AXCELIS GSD200離子注入機(jī)loadlock控制器電路板維修
20年 AXCELIS GSD200離子注入機(jī)loadlock控制器電路板維修離子注入機(jī)由離子源、離子引入和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔組成,可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位。離子源是離子注入機(jī)的主要部位,作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子電離成離子,決定要注入離子的種類和束流強(qiáng)度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子,當(dāng)外來電子**原子的電離電位時(shí),通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原
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chino千野記錄儀維修 有紙記錄儀AH4706-N0A-NNN
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公司名: 北京天浦正達(dá)電子科技有限公司
聯(lián)系人: 曹工
電 話: 010-82271450
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