詞條
詞條說明
前言:一個(gè)工藝技術(shù)**的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中,全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。一:概念特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、**次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)二:分類特種氣體根據(jù)氣體
冶金淬火工藝高純?yōu)橹饕Wo(hù)氣體在冶金工業(yè)中運(yùn)用范圍較廣,所有的熱處理工藝,包括淬火、退火、滲碳、碳氮共滲、軟氮化及復(fù)碳等工藝,都能夠使用高純完成所處理的金屬零件在質(zhì)量上可與傳統(tǒng)的吸熱式氣氛處理相媲美。高純是一種中性氣體,在非活化狀態(tài)下,高純可用于保護(hù)加熱,防止鋼、鐵、銅、鋁制品氧化、脫碳,因而廣泛用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等金屬熱處理工藝中。在真空熱處理時(shí),高純常作為冷卻介質(zhì),用于金屬部件的
在電子中,高純度運(yùn)用十分廣泛。在半導(dǎo)體與集成電路制造與生產(chǎn)過程中,需要高純對(duì)其進(jìn)氛保護(hù)與清洗,保證半導(dǎo)體與集成電路的質(zhì)量;在半導(dǎo)體電池和電子合金材料等中,高純被用于電子產(chǎn)品的封裝、燒結(jié)、退火、還原、儲(chǔ)存等環(huán)節(jié);在大規(guī)模集成電路、彩電顯像管液晶以及半導(dǎo)體原件的處理中,高純被用于十分重要的源;在單晶硅、多晶硅與一些外延產(chǎn)業(yè)中運(yùn)用高純,不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量;在電子行業(yè)中的磁材行業(yè)塑
實(shí)驗(yàn)室制取二氧化碳應(yīng)注意什么
實(shí)驗(yàn)室制取二氧化碳應(yīng)注意:1.不能用濃鹽酸代替稀鹽酸,因?yàn)闈恹}酸具有較強(qiáng)的揮發(fā)性,會(huì)使生成的CO2中混有而不純。不能用稀代替稀鹽酸,因?yàn)橄∨c碳酸鈣反應(yīng)后生成微溶于水的CaSO4,CaSO4覆蓋在石灰石表面,阻止反應(yīng)的繼續(xù)進(jìn)行。不能用碳酸鈉代替石灰石,因?yàn)镹a2CO3易溶于水,與鹽酸反應(yīng)速率快,不利于收集二氧化碳?xì)怏w。2.長(zhǎng)頸漏斗的下端管口應(yīng)插入液面以下形成液封,防止生成的氣體從長(zhǎng)頸漏斗中逸散。反應(yīng)
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