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  • 氧化鋁納米顆粒在半導(dǎo)體三維集成制造中的介電隔離應(yīng)用

    # 納米氧化鋁顆粒在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用 半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展對(duì)材料性能提出了較高要求,氧化鋁納米顆粒因其*特的介電特性,在三維集成制造中扮演著重要角色。這種材料能夠有效隔離電路層間的信號(hào)干擾,提升芯片的整體性能。 氧化鋁納米顆粒具有高介電常數(shù)和優(yōu)異的絕緣性能,能夠在較薄的厚度下實(shí)現(xiàn)高效隔離。相比傳統(tǒng)二氧化硅材料,它的熱穩(wěn)定性較強(qiáng),能夠承受高溫工藝條件,減少制造過程中的熱應(yīng)力影響。此外,氧化鋁納

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