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  • 納米二氧化鋯粉體在半導(dǎo)體拋光液中的分散穩(wěn)定性研究

    # 納米二氧化鋯粉體分散技術(shù)的突破與應(yīng)用納米二氧化鋯粉體在半導(dǎo)體拋光液中的分散穩(wěn)定性是提升拋光效果的關(guān)鍵因素。這種特殊材料的粒徑通常在100納米以下,具有較高的表面活性,容易發(fā)生團(tuán)聚現(xiàn)象。團(tuán)聚不僅會(huì)降低拋光效率,還會(huì)在晶圓表面產(chǎn)生劃痕,嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的性能。要實(shí)現(xiàn)納米二氧化鋯粉體的均勻分散,必須克服范德華力和靜電引力帶來(lái)的團(tuán)聚效應(yīng)。通過(guò)表面改性技術(shù),可以在顆粒表面引入功能性基團(tuán),增強(qiáng)其與溶劑的

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