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  • 詞條

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  • 功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測(cè)試研究中的應(yīng)用

    實(shí)驗(yàn)名稱:功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測(cè)試研究中的應(yīng)用 研究方向:元器件測(cè)試 測(cè)試目的:隨著MEMS器件在各個(gè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用,對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)測(cè)試獲得其動(dòng)態(tài)特性參數(shù)對(duì)微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、、制造、以及質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)等方面具有十分重要的意義??紤]到微結(jié)構(gòu)具有尺寸小、固有頻率高、振幅小等特點(diǎn),且應(yīng)用于不同環(huán)境中,因此,本文針對(duì)在高溫20~300℃環(huán)境下對(duì)單晶硅和304不銹鋼等截面矩形微懸臂梁進(jìn)行模態(tài)測(cè)試,提

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