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  ? ? AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，較有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個獨立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定較是復(fù)雜。I

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  ? R41a制冷劑性質(zhì)簡介R41a是由R32和R125兩種工質(zhì)按5％和5％的質(zhì)量分?jǐn)?shù)混合而成的HFCs類制冷劑。屬近共沸混合物（假共沸），其熱力性能接近單工質(zhì)。同R22相比，R41a的冷凝壓力增大近5％，是一種高壓制冷劑，需要提高系統(tǒng)耐壓強(qiáng)度。由于R41a的高壓連接管的螺紋和喇叭口形狀、充注制冷劑嘴形狀和真空泵連接管均需要改變或更換，維修用測量儀表和定量充注制冷劑設(shè)備也**。R41a力性

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  ? 雙繞組電流互感器是在傳統(tǒng)低壓母線式電流互感器的基礎(chǔ)上進(jìn)行研發(fā)，兼容電纜和銅排安裝方式，根據(jù)一次電流的測量范圍，5A-125A采用一體式設(shè)計方案，主要規(guī)格有S-3S-4S-5II；A-63A采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，主要規(guī)格有S-6IS-8IS-1IS-12IS-2II為分體式，如圖1、圖2所示。端子1S1；端子2S1；端子1S2；端子1S2；副繞組；主繞組2.2工作原理低壓雙繞組電流互感器

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  ? 什么是真空干燥設(shè)備?真空干燥設(shè)備專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計，能夠向內(nèi)部充入惰性氣體，特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進(jìn)行快速干燥。在低壓下干燥時氧含量低，能防止被干燥物料氧化變質(zhì)，可干燥易燃易爆的危險品；可在低溫下使物料中的水分汽化，易于干燥熱敏性物料；能回收被干燥物料中的貴重和有用的成分；能防止被干燥物料中有毒有害物質(zhì)的排放，可成為環(huán)保類型的綠色干燥。我國干燥設(shè)備發(fā)展歷程