PLC與GALIL運(yùn)動控制卡的優(yōu)缺點(diǎn)以及適用

時(shí)間：2022-09-15作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：439

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• 意大利givi光柵尺主尺安裝（givi磁柵尺）

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  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時(shí)以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。

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  掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的X/Y/Theta/Z平臺。在清潔、真空環(huán)境中工作，具有納米級的定位穩(wěn)定性。