高速精密氣浮平臺及其直線電機驅(qū)動特性

時間：2022-05-21

作者：北京瑞邦精控科技有限公司

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氣浮轉(zhuǎn)臺是一種什么樣的設(shè)備
其實在科研或制造業(yè)中可以看到一些搭載氣浮轉(zhuǎn)臺的專業(yè)設(shè)備，這些專業(yè)的設(shè)備在使用的過程中能夠有效的保證精度性能，相比機械轉(zhuǎn)臺，氣浮轉(zhuǎn)臺發(fā)揮著很大的作用，能保證精度，但是在看到眾多的設(shè)備時，大部分的人可能都不知道這中間到底有什么樣的優(yōu)勢，比如可以來看一下氣浮轉(zhuǎn)臺是什么回事呢？氣浮轉(zhuǎn)臺是設(shè)法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來實現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，
氣浮運動臺主要有哪些優(yōu)點
氣浮運動臺，隨著半導(dǎo)體進入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾
氣浮運動臺為什么能夠備受大家的認可
氣浮運動臺逐漸得到大家的認可。如今的制造業(yè)早已進入到快速發(fā)展的階段，傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動結(jié)構(gòu)或直驅(qū)線軌臺影響到了很多檢測設(shè)備的性能。在運動控制方面憑借著專業(yè)的經(jīng)驗早就已經(jīng)推出很多不一樣的產(chǎn)品，如果仔細觀察生產(chǎn)現(xiàn)狀，就會發(fā)現(xiàn)有一種氣浮運動臺，具有著好的效果，那么它到底有哪一些特點？??? 首先氣浮導(dǎo)軌接近零的摩擦系數(shù)，較高的直線度和平度誤差，而且還擁有著直線電機驅(qū)動，整體的
高速精密氣浮平臺及其直線電機驅(qū)動特性
由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構(gòu)，實現(xiàn)了直接驅(qū)動。因此，直線電機和氣浮導(dǎo)軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點，適合應(yīng)用于精密運動平臺的設(shè)計之中。但由于直線電機驅(qū)動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，抗干擾能力較差，易產(chǎn)生調(diào)和振