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真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝
日常維護1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進行清洗和疏通。2、當真空泵積碳嚴重時,必須進行大的維護保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因為,當真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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