詞條
詞條說(shuō)明
【覆膜機(jī)真空泵】真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無(wú)漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【硫化機(jī)真空泵】真空泵油和潤(rùn)滑油的區(qū)別
真空泵油和潤(rùn)滑油的區(qū)別:1、真空泵**油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過(guò)小,密封性則不好;粘度過(guò)高,會(huì)加大泵內(nèi)葉片與缸體的摩擦力度,潤(rùn)滑作用就會(huì)變差,同時(shí),轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將會(huì)變得困難,電機(jī)的壓力將會(huì)變高,油溫也會(huì)越來(lái)越高。油溫的升高會(huì)加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵**油的化學(xué)性質(zhì)趨于穩(wěn)定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質(zhì)的含量要小的多的多,使用**油能效的辟
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產(chǎn)的真空泵葉片還是進(jìn)口真空泵葉片,在沒(méi)有技術(shù)人員指導(dǎo)下,自行安裝時(shí)一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中安裝不好導(dǎo)致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發(fā)生。2、葉片的區(qū)分。市面上的真空泵葉片材質(zhì)有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹(shù)脂、銻樹(shù)脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質(zhì)導(dǎo)致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質(zhì)的葉片噪音相對(duì)于樹(shù)脂葉片和碳片較
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