詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵保養(yǎng)操作:維護(hù)時(shí)間表真空泵維護(hù)時(shí)間間隔根據(jù)每個(gè)客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實(shí)際使用狀況,縮短維護(hù)時(shí)間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護(hù)事項(xiàng):檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查排氣過(guò)濾器的功能,必要時(shí)請(qǐng)清洗或換進(jìn)氣過(guò)濾器。Ⅳ?每6個(gè)月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積碳
?1工作原理利用體積減少壓力增加是里其樂(lè)真空泵運(yùn)行的原理。這種靜態(tài)設(shè)計(jì)可以在真空,壓力和兩者結(jié)合的應(yīng)用中產(chǎn)生良好的效果。根據(jù)規(guī)格和構(gòu)造,真空度可達(dá)0.1mbar,流量從3到1535m3/hr;壓力可達(dá)1.5bar,流量從3到155m3/hr。當(dāng)同時(shí)應(yīng)用于真空和壓力時(shí),可同時(shí)達(dá)到0.6bar的真空度和0.7bar的正壓。在圓柱體的泵腔內(nèi),轉(zhuǎn)子是偏心安裝的,緊靠**部幾乎與缸體接觸,轉(zhuǎn)子葉片安
【工業(yè)真空泵】真空泵的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)1、**命葉片2、低噪音水平3、易維護(hù)4、能忍受較高水蒸氣5、保養(yǎng)周期長(zhǎng)產(chǎn)品特點(diǎn)1、低噪音,低震動(dòng),工作環(huán)境不會(huì)受影響?。2、內(nèi)置高效油霧過(guò)濾器,所排出的氣體不含油霧。????????????????? 
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