如何使用讓旋片式真空泵較好的操作

時(shí)間：2021-11-24作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：283

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• 【吸塑機(jī)真空泵廠家】滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下

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  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

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  XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)?1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油（32號(hào)普通機(jī)械油）到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵，將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求，重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空