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詞條說明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵配件一般分為:真空泵排氣過濾器,也叫真空泵油霧過濾器等等,真空泵進(jìn)氣過濾器也叫空氣過濾器,真空泵油過濾器也叫油格。真空泵配件一般,電動工具和汽車配件門市上都有銷售
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能更好的降低真空泵溫度,達(dá)到更穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能更好的降低真空泵溫度,達(dá)到更穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: lll622814.cn.b2b168.com
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