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詞條說明
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到較佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,?應(yīng)考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨真空機組需要的羅茨真空泵不能直排大氣,如直排大氣會形成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大,從而使羅茨真空泵過載,如單純加大羅茨真空泵電機功率又會形成羅茨真空泵過熱致使羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱收縮而卡死。羅茨真空機組為保證羅茨真空泵能到達較高真空必需保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵運用時必需設(shè)有前級泵,用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵,如此能夠防止羅茨真
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它**泵溫下的飽和蒸汽壓時,即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運轉(zhuǎn)時,已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會溶于油中的物質(zhì),又會在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時油
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