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詞條說明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時(shí),將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時(shí),必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時(shí)需換油路管。因?yàn)?,?dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會(huì)有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時(shí)處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達(dá)到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時(shí)小心對(duì)待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材質(zhì),質(zhì)
真空泵溫度高的原因,真空泵電機(jī)溫度高的原因?以下是對(duì)真空泵電機(jī)溫度高的原因分析:?1原因分析?(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。?(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。?(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。?(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。?(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止
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