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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
移動真空負(fù)壓站的作用:真空負(fù)壓站(又名真空發(fā)生裝置、真空泵站等)是以旋片真空泵作為真空獲得設(shè)備,以真空罐作為真空存儲設(shè)備的全自動真空度控制成套系統(tǒng)。對于頻繁使用真空源而所需抽氣量不太大的場合下,該系統(tǒng)比直接使用真空泵大大節(jié)約了能源,并有效提高了真空泵的使用壽命。目前這種泵已普遍應(yīng)用于各類食品的真空包裝、橡膠和塑料工業(yè)的真空吸塑成型、印刷工業(yè)的紙張輸送、各類鑄件的真空浸漬防漏、真空夾具、真空干燥、真
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴(yán)重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴(yán)重失效,可換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時間沒有進(jìn)行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、泵腔
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達(dá)到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
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