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普旭真空泵使用說明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側(cè)油位以油面浸沒3-5齒為宜,電機(jī)側(cè)以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應(yīng)缺油,各部位潤滑油均采用1號真空泵油。?????1、真空泵啟動程序:?????(1)啟動前級泵。??
1、機(jī)械密封裝置;(1)動環(huán)和靜環(huán)表面須光潔,不得有任何劃傷,密封面的平面度保持 在0.87um之內(nèi)。(2)水環(huán)真空泵密封裝置處軸的徑向跳動應(yīng)小于0.03mm。(3)彈簧無裂紋、銹蝕等缺陷,彈簧兩端面與中心線的垂直度偏差應(yīng)小于5/1000,同一機(jī)械密封中各彈簧之間的自由高度差不大于0.5mm。(4)動環(huán)和靜環(huán)密封端面的瓢偏應(yīng)不大于0.02mm,兩端面的不平行度應(yīng)不大于0.04mm。2、 浮動環(huán)密封
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【吸塑機(jī)真空泵】真空泵的正確使用及保養(yǎng)方法
真空泵正確使用及保養(yǎng)方法1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。?2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時換新油,確保真空泵工作正常。?3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期
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