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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【上海真空泵】XD系列旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)原理
XD系列旋片式真空泵為單級旋片式聯(lián)軸式結(jié)構(gòu)。它的工作性能是高轉(zhuǎn)速,低噪聲,抽速快,效率高。只需空氣冷卻,有防返油結(jié)構(gòu),防止泵油返入被抽系統(tǒng),泵內(nèi)裝有排氣過濾器,有效消除油霧,運轉(zhuǎn)平衡,振動小,可以在任意壓強下工作。XD型旋片式真空泵的技術(shù)參數(shù)2×10-2Pa,已普遍適用食品真空包裝,醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送,玻璃工業(yè)輸送,真空夾具,干燥等單位的使用。適用于低、中真空領(lǐng)域,主要用于抽除空氣和其它干燥氣
維護(hù)與保養(yǎng)1、潤滑油的規(guī)范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產(chǎn)生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運轉(zhuǎn)
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需換葉片。
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